国家知识产权局信息显示，上海光通信有限公司申请一项名为“漏液检测装置及半导体制造设备”的专利，公开号CN122709021A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请提供了一种漏液检测装置及半导体制造设备，所述漏液检测装置包括：承载部，所述承载部包括底板以及和所述底板相连的侧板，所述底板和所述侧板形成一容置空间；固体盐层，所述固体盐层铺设于所述容置空间内的所述底板上；以及，报警电路，所述报警电路的至少部分设置于所述容置空间内，并能根据所述固体盐层的导电性变化发出警报。由此，若有超纯水的漏液，将溶解所述固体盐层形成导电的盐溶液，从而使得报警电路导通并发出警报，由此便能检测出漏液，解决了现有技术中的双工件台光刻机存在漏液无法检测的问题。
天眼查资料显示，上海光通信有限公司，成立于1988年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2038786.497万人民币。通过天眼查大数据分析，上海光通信有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目59次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息119条，此外企业还拥有行政许可183个。
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作者：情报员
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